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日常维护包括检查密封门和密封圈、真空管路、阀门动作、真空泵油位和油质、冷凝器结霜或结垢、过滤器压差、加热温度传感器和压力表。每批前后应清洁干燥室和料盘，检查门封有无破损和异物残留。真空泵应按厂家要求换油，水环泵要检查水质和流量；若油泵油乳化，应查冷凝器和过滤器。脉动阀和充气阀要定期动作测试，防止卡涩和泄漏。

预防性保养应建立周期表：检查搁板平整度和热媒管路、校准温度和真空仪表、清洗冷凝器和过滤器、检查电气和防爆联锁、测试氧含量监测和紧急破真空。密封圈、过滤器滤芯、真空泵油和阀门易损件应有备件。维护后应做真空保压和空载运行确认，确保无泄漏和参数正常。维护记录、故障台账和更换记录应保存，便于分析重复故障。对含溶剂设备，维护前必须充分置换和检测可燃气体，确保安全。